此系列閥門分為氣動驅(qū)動方式，在結(jié)構設計上合理，外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，是真空設備自動化閥門之一

主要性能指標：

適用范圍：1×10-3Pa～1.2×105Pa

打開時閥板上的壓差：≤1.2×105Pa任意方向

閥體和閥座漏率：<1.3×10-5Pa·L·s

建議首次維修前循環(huán)次數(shù)：200，000次

周圍空氣溫度：-25℃~50℃

安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口

電源：交流220V 50Hz，6W

或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）

閥門開啟或關閉時間：-氣動驅(qū)動：≤1s

閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）

壓縮空氣:0.4～0.7MPa