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在前級真空泵所造成的低真空條件下,加熱泵內(nèi)硅油或擴散泵油,使受熱沸騰蒸發(fā),生成蒸汽,以極高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出,使容器內(nèi)部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置,由前級真空泵迅速抽出,使系統(tǒng)達到高真空的要求。