在需要無(wú)油泵時(shí)，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)，使之不僅干燥， 而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過(guò)可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場(chǎng)合。

XDS 泵的設(shè)計(jì)**性，采用軸承屏蔽將真空環(huán)境與形式的潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)來(lái)，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。

可調(diào)氣囊允許處理蒸汽，將應(yīng)用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用為的實(shí)驗(yàn)室濕化學(xué)應(yīng)用所選擇的材料。

應(yīng)用

分析儀器

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

渦輪分子前級(jí)泵

速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂

蒸餾/萃取/過(guò)濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負(fù)載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學(xué)儀器

特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

軸承屏蔽

清潔和干燥的真空

真空空間中沒(méi)有軸承或油脂

無(wú)軸封，無(wú)軸承清洗

簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)

更換頂封口僅需 20 分鐘

無(wú)需工具

氣囊位置可選

無(wú)氣囊泄漏

水蒸汽處理量大

泵產(chǎn)品均經(jīng)外部機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 標(biāo)準(zhǔn)

可以輕松地將泵整合到已的系統(tǒng)中，產(chǎn)品按照ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)制造、產(chǎn)品按照 ISO 14001 標(biāo)準(zhǔn)制造

制程環(huán)保

參數(shù)

1. 泵速測(cè)量依據(jù)為 PNEUROP 6602