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◆技術(shù)參數(shù)：ZDF―Ⅱ型系列熱偶/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低真空測量熱偶單元(ZJ-51熱偶規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-2電離規(guī))技術(shù)組合，以完成4×101~1×10-5Pa的測量與控制
