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濺射離子泵(SP)可獲得清潔無油超高真空,它具有許多獨特的優(yōu)點,已得到廣泛的應用。特點:沒有工作液,不污染系統(tǒng);無震動、無噪聲;工作壓強范圍寬(1x10負4-1x10負11托);壽命長,在1x10負7托工作壽命可達30年;不用真空計可知真空