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此系列閥門分為氣動驅(qū)動方式，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，外形美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。特點(diǎn)軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤
