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此系列閥門分為電動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,外形美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。特點(diǎn)軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無潤