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濺射離子泵(SP)可獲得清潔無油超高真空,它具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),已得到廣泛的應(yīng)用。特點(diǎn):沒有工作液,不污染系統(tǒng);無震動(dòng)、無噪聲;工作壓強(qiáng)范圍寬(1x10負(fù)4-1x10負(fù)11托);壽命長(zhǎng),在1x10負(fù)7托工作壽命可達(dá)30年;不用真空計(jì)可知真空
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上?;葚S真空泵油由上?;葚S石油化工有限公司和上海匯翌公司生產(chǎn),主要產(chǎn)品包括HFV-A200高真空泵油、HFV-A100高真空泵油、HFV-M00高真空泵油、HFV-M100高真空泵油、HFV-100a真空泵油、增壓泵油等。其中A200#真空